3 SiF₄ + 3 H₂O → 2 H₂SiF₆ + H₂SiO₃

反应物:

• SiF₄ – Silicon tetrafluoride
  • 其他名称: 四氟化硅 , 氟化硅、四氟化矽 , 氟化矽
  • 外观: 无色气体， | 在潮湿空气中发烟
• H₂O – 氧烷 (oxidane), 水 (water) , 氧烷〔Oxidane〕、水〔Water〕
  • 其他名称: 水 , 氧化氢 (hydrogen oxide) , 一氧化二氢 (dihydrogen monoxide ... 显示更多DHMO) , 一氧化氢 (hydrogen monoxide) , 氧化二氢 (dihydrogen oxide) , 氢氧化氢 (hydrogen hydroxide , HH 或 HOH) , Hydric acid , 氢羟酸 (hydrohydroxic acid) , 羟酸 (hydroxic acid) , Hydrol , Μ-氧合二氢 (μ-oxido dihydrogen) , 羟酸（Hydroxylic acid、Hydroxilic acid） , 二氢氧化物 , Μ-氧合二氢 显示更少
  • 外观: 黑色固体（當冰塊中含有雜質）或近无色微蓝透明晶体或液体 ; 白色或近透明固体，帶淺藍色；清澈液體；無色氣體

产物:

• H₂SiF₆ – Dihydrogen hexafluorosilicate
  • 其他名称: 氟硅酸 , 六氟硅酸，六氟合硅酸
  • 外观: 无色溶液
• H₂SiO₃