3 Si + 18 HF + 4 HNO3 → 3 H2[SiF6] + 4 NO + 8 H2O
Toto je koordinačná (komplexotvorná) reakcia: H2[SiF6] je vznikajúci komplex.
Toto je oxidačně-redukčná (redox) reakcia:
3 Si0 - 12 e- → 3 SiIV (oxidace)
4 NV + 12 e- → 4 NII (redukcie)
Si je redukčné činidlo, HNO3 je oxidačné činidlo.