3 Si + 18 HF + 4 HNO3 → 3 H2[SiF6] + 4 NO + 8 H2O
Toto je koordinační (komplexotvorná) reakce: H2[SiF6] je vznikající komplex.
Toto je oxidačně-redukční (redox) reakce:
3 Si0 - 12 e- → 3 SiIV (oxidace)
4 NV + 12 e- → 4 NII (redukce)
Si je redukční činidlo, HNO3 je oxidační činidlo.